紅外光源以產生紅外輻射為主要目的的非照明用電光源，常用于加熱、理療、夜視、通訊、導航和植物栽培等。MEMS即微機電系統(tǒng)，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置，是一個獨立的智能系統(tǒng)。MEMS紅外光源廣泛應用于光通信、數字圖像處理等，極大的提高了人們的生活質量。

一、MEMS紅外光源的特點

1、微型化。MEMS紅外光源耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應時間短。

2、批量生產。用硅微加工工藝在一片硅片上可同時制造成百上千個微型機電裝置或完整的MEMS，批量生產可大大降低生產成本。

3、可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復雜的微系統(tǒng)。微傳感器、微執(zhí)行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩(wěn)定性很高的MEMS。

二、MEMS紅外光源相對比于傳統(tǒng)光源有哪些優(yōu)勢

1、針對傳統(tǒng)光源加熱與冷卻的物理條件并沒有很好的定義的問題，利用輻射自冷卻的紅外光源研究應運而生，與傳導散熱相比，輻射散熱不需要通過介質實現，因此具有瞬間相應的優(yōu)點。

2、與傳統(tǒng)光源相比，采用熱激發(fā)電調制的方式，省去了傳感體系中的斬波器，在成本、體積、電源功率以及電路復雜性上都有了很大的改進。

3、紅外光源與MEMS工藝兼容，且適合大批量生產，具有成本低廉，性能一致的優(yōu)點。

以上便是小編為大家介紹的關于MEMS紅外光源的知識，希望對大家有所幫助，中國在MEMS紅外光源的研究起步比較晚，以及申請專利或者產業(yè)化的微型調制光源不多，大多數研究都處于實驗室研究階段，至于器件的最終商品還需要做大量工作，讓我們一起期待MEMS紅外光源的進一步發(fā)展。